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四探針法電阻率測量裝置sigma-5+介紹

  • 發(fā)布日期:2024-11-05      瀏覽次數(shù):41
    • 四探針法電阻率測量裝置sigma-5+介紹

      電阻率測量裝置(方塊電阻測量裝置)
      半導(dǎo)體/LCD前工序(檢查)
      適合專業(yè)技術(shù)人員的高性能工具。
      這是一款手動式測量儀器,采用四探針法,輕松準(zhǔn)確地測量太陽能電池硅片、液晶基板、金屬薄膜等的方塊電阻或體積電阻。它支持從低電阻到高電阻的各種測量。
      <應(yīng)用>
      1) 用于硅錠制造→晶圓制造工序(成膜等各種加工工序)的產(chǎn)品檢查 
      2) 液晶面板(LCD基板)制造:成膜時的產(chǎn)品檢查
      3) 用于各種導(dǎo)電部件制造過程中的產(chǎn)品檢驗(yàn)
      可以使用本公司另外配置的“4點(diǎn)探頭"進(jìn)行測量。
      型號 sigma-5+


      IMGP1724_sigma5+.JPG
      它可以精確測量硅片等的電阻率,還有用于太陽能電池的硅的便攜式探頭。
      這是一款高精度電阻率測量儀器,采用20多年電阻率測量相關(guān)的專業(yè)知識和技術(shù)設(shè)計(jì)和開發(fā)。
      可以在半導(dǎo)體基板和導(dǎo)電薄膜基板的研發(fā)/檢查過程或生產(chǎn)線中高精度地確定和評估薄層電阻值和體積電阻值。
      *照片為與樣品臺RG-5的組合。
      【基本規(guī)格】
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      [特征]
      ?帶有開關(guān)功能的智能面板,可進(jìn)行詳細(xì)設(shè)置
      ?緊湊的桌面尺寸設(shè)計(jì)
      ?從低電阻到高電阻的寬測量范圍
      ?電流極性切換測量可抑制因整流而產(chǎn)生的誤差
      ?每次測量開始時自動調(diào)零功能
      ?自動設(shè)定最佳電流的自動量程功能
      ?試樣厚度修正功能
      ?測量值平均值顯示和打印機(jī)平均值計(jì)算功能
      ?半導(dǎo)體溫度校正功能
      ?各種溫度修正系數(shù)輸入功能
      ?帶數(shù)據(jù)打印機(jī)接口
      ?具有數(shù)據(jù)連接接口
      ?可選擇樣品表<基本規(guī)格>
      ■ 手持式薄膜電阻測量裝置/薄膜電阻率測量裝置
      方塊電阻測量裝置
      *該產(chǎn)品目前已停產(chǎn)。
      手持式方塊電阻測量儀SRM-232使用4點(diǎn)探頭測量絕緣材料上導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。此外,電阻率計(jì)PV-628可以測量太陽能電池基板等硅半導(dǎo)體的電阻率。所有型號均可保存數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)輸出至計(jì)算機(jī),并由具有自動斷電功能的電池供電。
      ■ 手持式 ?電阻率測量儀 型號PV-628
      電阻率計(jì)
      PV-628 型是一款便攜式 4 點(diǎn)探針測量儀器,專門用于測量太陽能發(fā)電用硅的電阻率。由于它采用電池作為電源,因此便于攜帶,而且不受被測物體形狀或尺寸的限制,便于測量。
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      IMGP1722_HP-1 手持探頭.JPG



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