用于半導體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域檢測設(shè)備分析

發(fā)布日期：2024-11-12      瀏覽次數(shù)：12

用于半導體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域檢測設(shè)備分析

這是新系列的傳感器式真空計“G-TRAN系列多離子真空計"，可以連接不同測量范圍的探頭。本產(chǎn)品為BA型電離真空計，可測量超高真空。在繼承了寬范圍壓力測量和低運行成本的傳統(tǒng)理念的同時，我們進行了改進，使其更加人性化。






目的

• 用于半導體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的過程控制。

• 用于檢查直列式、單晶圓式等具有多個處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力。

• 用于高真空和超高真空設(shè)備中的壓力測量

特征

• 可連接不同測量范圍的探頭：多離子計允許根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。

• 緊湊：明顯小于傳統(tǒng)產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），最小級別

• 提高可用性：可通過 PC/智能手機連接進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等

• 產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）。

• 燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)控燈絲功率，可以提前通知燈絲壽命。

• 壓力測量范圍廣：可測量從大氣壓到高真空區(qū)域（1×10 +5～ 5×10 -8 Pa）（連接選購件SWU10-R時）

• 精確的大氣壓力測量：可以檢查腔室開口的大氣壓力（當連接可選單元 SAU 時）

規(guī)格




模型		SH200-A	SH200-R	SH200-E（預定發(fā)售）
規(guī)格		標準規(guī)格	串行通訊規(guī)格	EtderCAT 規(guī)格
適應(yīng)性強的多離子規(guī)傳感器		M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
可連接的傳感器		多離子壓力傳感器：1 件 皮拉尼壓力計 SWU10-R：1 件（可選） 大氣壓力傳感器 SAU：1 件（可選）
重復性（N 2）		SH200單模：±2%
采樣時間		60ms 5次移動平均處理
測量值輸出		輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新時間		60毫秒
控制輸入信號		FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負邏輯 * FIL ON/OFF 信號的使用方法因模式而異	-	-
控制輸出信號		傳感器錯誤、設(shè)定點 1/2/3、發(fā)射有效、 燈絲功率監(jiān)控 額定值：最大24V 、最大50mA 、飽和電壓 1V	-	-
串行通訊規(guī)格		-	RS232C/RS-485	埃特CAT
LED顯示屏		POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
		SET1：設(shè)定點 1 LED SET2：設(shè)定點 2 LED SET3：設(shè)定點 3 LED	-	-
發(fā)射電流		1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA（1×10 -3 Pa以上）
脫氣		電子轟擊法（電子轟擊）1mA，330V
傳感器耐壓		2×10 + 5Pa（絕對壓力） * 必須單獨考慮法蘭、卡箍等的耐壓性能。
傳感器內(nèi)容積		17厘米3（M-44）、19厘米3（M-45）、17厘米3（M-46）
工作溫度范圍		10～50℃
工作濕度范圍		15 至 80%（無冷凝）
儲存溫度		-20～65℃（不通電時不結(jié)露）
IP防護等級		IP30
電源電壓		DC20~28V（紋波、噪聲1%以下），8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub15針（M2.6螺絲）
大量的		控制器：約280g 測量點（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g
外形尺寸 寬×深×高		69mm×63mm×90mm（控制器部分）
兼容標準		C.E.
選項	多離子計傳感器	M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) 材質(zhì)：燈絲 1,2 -Ir/Y 2 O 3涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni電鍍
	皮拉尼壓力計	SWU10-R *也兼容傳統(tǒng)SPU
	皮拉尼壓力傳感器	SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18 (Φ18 管端)、SWP-P15 (Φ15 管端) 材質(zhì)：燈絲 - Pt、其他 - BS/Ni，鍍層，Ni，焊料
	大氣壓力傳感器	SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2m GUC-200A（用于 SAU）：0.5m、1m、2m
	顯示單元	1CH：ISG1（使用DC24V供電）
	顯示單元電纜	SH200至顯示單元電纜 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他的	檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書

每種模式的規(guī)格

SH200-A/SH200-R/SH200-E可采用三種方式使用：多油表獨立模式、與皮拉尼表組合模式、皮拉尼表與大氣壓力傳感器三重組合模式。

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 單模	SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 組合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 組合模式
測量壓力范圍	5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa	5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa	5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa
測量精度	5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa： ±15%	5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10 % 1.0×10 +4～1.0×10 + 5Pa：±20%	5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10 % 1.0×10 +4 ~3.0×10 +5 Pa: ±3%FS (3.0×10 +3 Pa·參考溫度25℃)
連接圖
測量壓力范圍圖像	當需要“大氣壓力"確認時，例如打開腔室時，使用三重組合。

計算機/智能手機連接圖像



應(yīng)用軟件“UL-MOBI"

電腦用	ULVAC SHOWCASE（網(wǎng)站）在此下載
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兼容終端

電腦	Windows10 64位或更高版本
手機	Android 6 或更高版本，USB TypeC