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日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀

訪問(wèn)次數(shù):1082

更新日期:2024-03-16

簡(jiǎn)要描述:

日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500
多可同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
濃度顯示范圍很廣,從ppm到百分之100。
非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進(jìn)一步提高耐用性

日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀
儀器種類(lèi)在線(xiàn)式

日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500

  • 多可同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
  • 濃度顯示范圍很廣,從ppm到100百分之。
  • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
  • 傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
  • 具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進(jìn)一步提高耐用性
  • 日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500

MS-500設(shè)備規(guī)格

測(cè)量原理形狀顯示方式測(cè)量范圍重復(fù)性測(cè)量點(diǎn)數(shù)樣氣條件壓力流量濕度溫度其他比較氣記錄儀輸出變速箱輸出報(bào)警輸出熱身時(shí)間尺寸MS-500(控制器)MS-510(轉(zhuǎn)換器)傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW大眾MS-500(控制器)MS-510(轉(zhuǎn)換器)傳感器單元SD16NWSD25NWSD40NW外部連接使用電源

氧化鋯濃縮池類(lèi)型
分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
4位數(shù)字顯示(密度顯示)
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm
自動(dòng)量程
在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更高
±1%FS或±
0.1ppm中,以較大者為準(zhǔn)小于0-1%范圍0-1ppm,atm范圍超出保證的濃度范圍
1?9?18
10 -3至200 KPa(壓力)
0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量)
露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
0-100°攝氏度
請(qǐng)勿包含腐蝕性氣體(氟氣,lv氣,硫化物氣等),含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
大氣層
僅變速箱輸出
RS-232C
沒(méi)有
6分鐘以?xún)?nèi)
92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起)
100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起)
總長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
總長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
約0.6Kg
約0.5kg
約0.2Kg
約0.2Kg
約0.35Kg
真空法蘭之一(NW16、25、40)
24VDC±10%

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